2026年2月20日
氮和氧的氟化物 NF3，OF2，FNO3，FClO4 学习笔记
摘要： NF3学习笔记 现在NF3是一种电子特气，用于半导体工业。 物理特性： 发现时的制备： 125℃下，石墨为阳极，电解氟氢化铵(NH4HF2)时作为电解主要产物，杂质有\(\ce{N2O3，N2，O2，HF，SiF4,CF4}\), 可能有爆炸性是因为杂有臭氧(亦可认为是硝酰氟FNO2)。 提纯方法： 阅读全文
posted @ 2026-02-20 21:22 dingxianghuan 阅读(14) 评论(0) 推荐(0)